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產業構架
Industrial framework


● 加熱系統:

增壓式強制循環熱風加熱系統,前后回風設計,有效防止溫區間氣流影響,保證優良的溫度均勻性和加熱效率;溫控精度±1℃,板面溫度橫向偏差±1.5℃,室溫到恒溫時間小于20分鐘。

● 冷卻系統:

全新專利結構設計,強制風冷及水冷結構可升級互換;維護保養方便快捷;冷卻區溫度顯示可調。

基本參數:

冷卻方式: 2個冷卻區:風冷。

溫區配置: 8溫區,16加熱模塊。

溫度重復精度: 連續生產情況下,各基板間溫差±1℃。

設備重復精度: 同等工藝設置下,不同時期所測溫度曲線重復性能±1℃。

溫區風速調節: 上下溫區風速獨立調節。

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